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黑膠
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產(chǎn)品描述
參數(shù)
LCD平板構造
CF的構造
ITEM | Thickness | Width |
Glass Substrate | 0.5mm, 0.7mm | - |
BM (Black Matrix) | 1um | 3~25um |
RGB | 2-3um | 20-40um |
PS(Photo Spacer) | 3um | 25um |
OC(Over Coating) | 3 um | - |
ITO | 1000-1500Å | - |
CF工藝介紹
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玻璃洗凈 | 塗布 | 曝光 | 顯影 | Post-Bake |
工藝設備及工藝參數(shù)介紹
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Coating 涂布 |
Spin Coater Slit Coater |
Spin Coater:轉(zhuǎn)速 Slit Coater:速度秧诊,吐出量 |
VCD | VCD設備 | 底壓训癌,Slow time,抽氣速度 | |
Pre-bake 前烘 |
Hot-plate | 溫度病毡,時間 | |
Exposure 曝光 |
曝光機 | 能量涎狐,曝光間距(Gap)碉晾,照度,filter等 | |
Develop 顯影 |
顯影機 | 溫度革睬,時間 顯影液種類安影、濃度 |
|
Post-bake 后烘 |
烘箱 | 溫度,時間 |
CF工藝總結
流程 | ![]() |
工藝 | |
材料 |
PR組分介紹
組成 | 種類 | 作用 |
Solvent 溶劑 |
PGMEA, Anone, EDM, DBDG 3-MBA, 1,4-BDDA … |
揮發(fā)性調(diào)節(jié) ( VCD, Pin Mura) |
Millbase 色漿 |
Carbon(炭黑):高阻抗竣康,低阻抗 Pigment:R/G/B |
OD/顏色膏蚓, PTN 形貌,阻抗畸写, 顯影性驮瞧,穩(wěn)定性 |
Resin(Binder,Polymer) 樹脂(聚合物) |
Card binder / Acrylic binder |
PTN 形成能力枯芬,附著力论笔, 工藝性(BP,顯影性) |
Multi-Functional Monomer 多官能單體 |
4~6官能 | UV 架橋 → PTN 形成能力 工藝性(BP千所,顯影性) |
Photo-initiator 光引發(fā)劑 |
高感度 | 光反應開始 感度調(diào)節(jié) |
Additive 添加劑 |
Surfactant : 氟系狂魔,硅系 Coupling agent:硅系 |
涂布性 (Mura) 附著力 (BM-玻璃) |
BM品質(zhì)檢查
特性 | 影響內(nèi)容 | 評價設備 |
粘度 | 涂布性、干燥性 | 粘度計 |
固含量 | 涂布性淫痰,成本 | 烘箱最楷、天平 |
OD | 遮光性 | OD計 |
水分 | 光阻儲存穩(wěn)定性 | 水分儀 |
BP(Break time) | 工藝性(顯影性) | 顯影機 |
CD | 工藝性(曝光感度) | OM |
膜厚(THK) | 遮光性 | 膜厚儀 |
阻抗 | 電學能力 | 阻抗儀 |
異物檢查 | 產(chǎn)線上良率 | AOI設備 |
直進性 | 影響B(tài)M的光學能力 | OM |
Taper angle | 影響B(tài)M的光學能力 | SEM |
(PCT)附著力 | 信賴性 | Ez-test,PCT設備 |
...... |
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彩膠
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